

金融界2025年8月9日消息,国家知识产权局信息显示,埃克斯控股(北京)有限公司申请一项名为“机械手动作序列生成方法、装置、设备及存储介质”的专利,公开号CN120439315A,申请日期为2025年07月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及机械手动作序列生成方法、装置、设备及存储介质,所述方法包括:获取各个工艺模块的运行状态、当前晶圆完工时间和清洁预计完成时间;当存在任一工艺模块故障时,获取机械手的当前操作类型并判断是否存在同加工步骤的并行工艺模块,若存在,则构建候选集;根据预设的优先级排序规则,基于时间参数从候选集中选取最优转向工艺模块;基于机械手的当前操作类型、最优转向工艺模块以及实时状态参数重构动作序列并控制机械手执行;本申请公开的方法,可实现机械手动作序列的动态重构,具有显著的自适应决策优势,不仅减少了人工干预的频率,还显著缩短了组合设备的停机时间,从而提高了组合设备整体的产能利用率。
天眼查资料显示,埃克斯控股(北京)有限公司,成立于2017年,位于北京市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本6225.3809万人民币。通过天眼查大数据分析,埃克斯控股(北京)有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目37次,财产线索方面有商标信息35条,专利信息82条,此外企业还拥有行政许可18个。
本文源自:金融界
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